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您现在的位置:江苏物联网研究发展中心 > 产业孵化 > 公共技术服务平台 > 【多余】MEMS设计与制造平台

       MEMS公共技术平台由无锡微纳产业发展有限公司、江苏物联网研究发展中心、无锡华润上华半导体有限公司、中科院上海微系统与信息技术研究所、中科院微电子研究所共同建设。
       平台以核心技术突破、产业集聚、人才集聚、支撑物联网产业发展及应用示范为目标,将分别建设MEMS设计服务平台、MEMS工艺试验线、MEMS测试服务平台。

       平台从完善MEMS传感器产业链的角度出发,建设国内首条与MEMS规模制造线无缝对接的MEMS研发生产和测试平台,在无锡形成国内首个具备设计、加工和测试服务能力的完备的MEMS公共技术平台,在传感网国际创新园集聚一批具有自主知识产权的MEMS传感器研发机构和企业。

       平台主要提供MEMS设计仿真、MEMS+CMOS协同设计、CMOS MEMS制造、封装与晶圆级和产品级测试服务。

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